Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12a-PB3-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_2767

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討

*乙部翔太, 渥美賢, 古賀達也, 山根大輔, 飯田慎一, 伊藤浩之, 石原昇, 町田克之, 曽根正人, 益一哉

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キーワード: 12a-PB3-9, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, MEMS/NEMS/センサー/アクチュエータ, MEMS, 加速度センサ, Multiple SCD

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