第66回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 10a-S011-2
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 66
開催地: 東京工業大学 大岡山キャンパス
開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12
ZnO/VZO/ZnO積層膜の固相成長におけるV濃度の配向性への影響
キーワード:
10a-S011-2,
合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」,
合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」,
薄膜成長,
酸化亜鉛,
バナジウム,
固相成長
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