時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の解明II

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 10p-M114-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_83

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の解明II

*西岡直樹, 梅田悠史, 船本祐介, 島大地, 神村共住, 堀邊英夫, 吉村政志, 中村亮介

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キーワード: 10p-M114-6, シンポジウム, 光プロセスの基礎過程に迫る計測・モニタリング技術の進展, 光学, レーザー損傷

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