酸素スプレー法を用いた反応性スパッタリングによるBa(Zr<i><sub>1-x</sub></i>Ti<i><sub>x</sub></i>)O<sub>3</sub>膜の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-PA3-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_1363

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

酸素スプレー法を用いた反応性スパッタリングによるBa(Zr_1-xTi_x)O₃膜の作製

*牧野碧, 篠原崇之, 砂岡裕基, 西田謙

著者情報

キーワード: 19p-PA3-6, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 強誘電体・高誘電率薄膜, チタン酸ジルコン酸バリウム

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2019 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top