応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第80回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 21a-C309-11
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学 札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

低電圧動作FRAMにおける低リーク電流積層PbLa(Zr,Ti)O3キャパシタの開発
*王 文生, 中村 亘, 高井 一章, 野村 健二, 恵下 隆, 中林 正明, 小澤 聡一郎, 山口 秀史, 三原 智, 彦坂 幸信, 齋藤 仁, 片岡 祐治, 児島 学
著者情報
キーワード: 21a-C309-11, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, プロセス・評価技術, 積層PLZT, キャパシタ, FRAM
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