応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第80回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 21a-PA2-22
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スパッタ成膜後のその場アニールによるglass基板上AlドープZnO薄膜の特性改善効果
*諏訪 翁紀中村 忠沖村 邦雄
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