LaAlSiO<sub>x</sub>のlayer-by-layerエッチング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19a-B32-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_1931

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

LaAlSiO_xのlayer-by-layerエッチング

*大村光広, 古本一仁, 松田和久, 佐々木俊行, 酒井伊都子, 林久貴

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キーワード: 19a-B32-2, プラズマエレクトロニクス, プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演, ドライエッチング

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