Atomic Scale Processing for GaN  Devices

The 80th JSAP Autumn Meeting 2019

セッションID: 20p-E301-3

会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

Atomic Scale Processing for GaN Devices

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キーワード: 20p-E301-3, ALE, ALD, GaN

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