ミニマル中性粒子ビームエッチング装置の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-E304-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3082

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

ミニマル中性粒子ビームエッチング装置の開発

*大堀大介, 野田周一, 野沢善幸, リャオブライアン, 藤井竜介, 速水利泰, 門井幹夫, 石田昌久, 田中麻美, 曽田匡洋, 遠藤和彦, 寒川誠二

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キーワード: 19p-E304-3, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 装置技術, 中性粒子ビームエッチング

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