第80回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 21a-E301-2
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 80
開催地: 北海道大学 札幌キャンパス
開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21
ICPエッチングがAlGaN/GaN界面の2DEGに与える影響の評価
キーワード:
21a-E301-2,
半導体,
化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術,
窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価,
AlGaN/GaN,
ICP-RIE,
放射光光電子分光法
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