GaAs/Diamond直接接合の界面評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21p-E301-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3253

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

GaAs/Diamond直接接合の界面評価

*中村祐志, 清水康雄, 大野裕, 詹天卓, 山下雄一郎, 白崎謙次, 永井康介, 渡邊孝信, 嘉数誠, 重川直輝, 梁剣波

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キーワード: 21p-E301-6, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, III-V族半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, ダイヤモンド, 半導体, GaAs

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