応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第80回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 18a-E310-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学 札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

DCスパッタAlNテンプレート上UVC AlGaN LEDの作製と評価
*最上 耀介, 大澤 篤史, 尾崎 一人, 谷岡 千丈, 前岡 淳史, 糸数 雄吏, 桑葉 俊輔, 定 昌史, 前田 哲利, 矢口 裕之, 平山 秀樹
著者情報
キーワード: 18a-E310-9, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, UV-LED, スパッタ, アニール
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© 2019 公益社団法人 応用物理学会
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