応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第80回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20p-E311-15
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4H-SiC中の窒素・空孔複合欠陥の形成における窒素不純物濃度の影響
*楢原 拓真佐藤 真一郎児島 一聡山﨑 雄一土方 泰斗大島 武
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