第80回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20p-E304-7
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 80
開催地: 北海道大学 札幌キャンパス
開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21
テクスチャガラス基板上に作製した電子線蒸着非晶質Si膜のFLAにおける結晶化機構
キーワード:
20p-E304-7,
非晶質・微結晶,
基礎物性・評価・プロセス・デバイス,
液・固相成長法（印刷, ゾル-ゲル, アニーリング, コーティング）,
フラッシュランプアニール,
シリコン,
結晶化
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