応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第80回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 18p-PB5-16
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学 札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

ロール・ツー・ロール方式によるGZO透明導電膜のプラズマ支援堆積 (2)
*村中 司, 土屋 雄平, 青木 泰雅, 小野島 紀夫, 鍋谷 暢一, 松本 俊, 平木 哲, 木島 一広, 中村 卓, 阿部 治, 河野 裕, 萩原 茂
著者情報
キーワード: 18p-PB5-16, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 透明導電膜, 酸化亜鉛, 透明導電膜, ロール・ツー・ロール
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© 2019 公益社団法人 応用物理学会
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