第80回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20a-B31-6
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 80
開催地: 北海道大学 札幌キャンパス
開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21
Ar+O2+H2スパッタ成膜によるIn–Ga–O薄膜の結晶性･電気特性制御
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主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 80
開催地: 北海道大学 札幌キャンパス
開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21
