直接貼付InP/Si基板の加熱処理プロセスの依存性について

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-PB2-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_1130

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

直接貼付InP/Si基板の加熱処理プロセスの依存性について

*佐藤元就, 白井琢人, 石崎隆浩, 対馬幸樹, 澁川航大, 藤原啓太, 韓旭, 松浦正樹, 下村和彦

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キーワード: 14p-PB2-5, 光・フォトニクス, 半導体光デバイス, 半導体レーザー，発光ダイオード, シリコンフォトニクス, 光インターコネクション, 光通信

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