応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 15p-B508-13
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

不揮発性MOS型光位相シフタに向けた強誘電性Hf­­0.5Zr0.5O2を用いたウェハボンディングの検討
*渡辺 耕坪, トープラサートポン カシディット, 関根 尚希, 高木 信一, 竹中 充
著者情報
キーワード: 15p-B508-13, 光・フォトニクス, シリコンフォトニクス・集積フォトニクス, 光変調器，光スイッチ，非線形デバイス, 強誘電体, 光位相シフタ, ウェハボンディング
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