溶液塗布熱分解法の繰返しによる強誘電相Hf<sub>0.5</sub>Zr<sub>0.5</sub>O<sub>2</sub>積層膜の特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-A303-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_1236

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

溶液塗布熱分解法の繰返しによる強誘電相Hf_0.5Zr_0.5O₂積層膜の特性

*大田宗司, 井上泰一, 広藤裕一, 小池一歩, 矢野満明

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キーワード: 14p-A303-2, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 強誘電体・高誘電率薄膜, 酸化物半導体, 溶液塗布熱分解方法, 酸化ハフニウムジルコニウム

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