Ptナノ粒子担持SnO<sub>2</sub>薄膜の水素ガスセンシング特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12p-D411-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_1311

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

Ptナノ粒子担持SnO₂薄膜の水素ガスセンシング特性

*西河秀平, 柏木誠, 賈軍軍, 中村明, 重里有三

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キーワード: 12p-D411-4, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, ワイドギャップ系、透明材料, 水素ガスセンサー, SnO2薄膜, スパッタリング

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