Si{111}ピラミッド構造表面の創製と評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14a-D411-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_1442

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

Si{111}ピラミッド構造表面の創製と評価

*服部梓, Aydar Irmikimov, 東嵩晃, 高橋駿太, 郭方准, 服部賢, 田中秀和

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キーワード: 14a-D411-4, 薄膜・表面, 表面物理・真空, 表面, 立体表面, シリコン

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