応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 12p-A205-11
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

低エネルギーイオン照射によるハロゲン化層における脱離反応
*唐橋 一浩, 伊藤 智子, 浜口 智志
著者情報
キーワード: 12p-A205-11, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, Si・金属のエッチング, 原子層エッチング, 低エネルギーイオン, ハロゲン
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