第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 13a-A205-1
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 67
開催地: 上智大学 四谷キャンパス
開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15
大気圧におけるDLC薄膜のプラズマ化学気相成長の研究
キーワード:
13a-A205-1,
プラズマエレクトロニクス,
プラズマ成膜・エッチング・表面処理,
CVD・PVD・スパッタリング,
大気圧マイクロプラズマ,
ダイヤモンド状炭素膜,
プラズマCVD
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