応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 13p-B407-10
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SIS 接合用 Nb/Al/AlN/Al/Nb 多層膜の作製と結晶性の評価
*佐藤 大地田中 優志齊藤 敦
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