超伝導量子回路応用のための原子層堆積法による窒化チタン薄膜の評価と最適化Ⅱ

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12p-PA3-30

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

超伝導量子回路応用のための原子層堆積法による窒化チタン薄膜の評価と最適化Ⅱ

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