応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 13p-A409-11
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

高純度オゾンとTMAを用いた室温ALD法により成膜したAl2O3膜の水蒸気透過率
*阿部 綾香, 萩原 崇之, 亀田 直人, 三浦 敏徳, 森川 良樹, 花倉 満, 中村 健, 野中 秀彦
著者情報
キーワード: 13p-A409-11, 有機分子・バイオエレクトロニクス, 有機EL・トランジスタ, トランジスタ作製技術（電極，絶縁膜，表面処理）, バリア性, 室温ALD, 高純度オゾン
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