エアロゾルデポジション法のプラズマ援用時における固相粒子接合メカニズム

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14a-A201-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_249

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

エアロゾルデポジション法のプラズマ援用時における固相粒子接合メカニズム

*篠田健太郎, 明渡純

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キーワード: 14a-A201-7, シンポジウム, 低温（常温）接合界面及び薄膜成長界面ナノ・キベルネテス（舵手）, セラミックス, コーティング, 界面

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