ホモエピタキシャル成長によるシリコン多形の結晶成長の可能性ー自由エネルギーによる評価ー

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12p-A202-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_2593

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

ホモエピタキシャル成長によるシリコン多形の結晶成長の可能性ー自由エネルギーによる評価ー

*北玲男, 豊田雅文, 斎藤晋

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キーワード: 12p-A202-4, 半導体, Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション, 理論, シリコン, 多形, 第一原理計算

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