第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 13a-A305-1
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 67
開催地: 上智大学 四谷キャンパス
開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15
TCAD 技術を活用した半導体量子ドットデバイスの静電容量解析
キーワード:
13a-A305-1,
半導体,
デバイス／配線／集積化技術,
量子効果デバイス(SET、量子ドット、トンネル、スピンなど）,
半導体量子ドット,
半古典デバイスシミュレーション,
量子ドット容量
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