応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 13p-PB1-23
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

ダイヤモンド基板上のMBE成長AlGaN薄膜の質とバンドオフセット
*河野 省三, 堀川 清貴, 立石 哲也, 矢部 太一, 蔭浦 泰資, 川原田 洋
著者情報
キーワード: 13p-PB1-23, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, ダイヤモンド基板, AlGaN薄膜, バンドオフセット
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