第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 15a-A302-10
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 67
開催地: 上智大学 四谷キャンパス
開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15
アニール処理されたスパッタAlNテンプレート上AlGaN多重量子井戸における内部量子効率のc面サファイアm軸オフ角依存性
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