応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 15p-A302-2
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

高温アニールしたスパッタAlN上に成長させたAlNの陰極線蛍光評価(1)
*嶋 紘平, 中須 大蔵, 正直 花奈子, 上杉 謙次郎, 小島 一信, 上殿 明良, 三宅 秀人, 秩父 重英
著者情報
キーワード: 15p-A302-2, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 光物性（GaN, AlGaN, AlInN）, 窒化アルミニウム, 陰極線蛍光, 時間分解ルミネッセンス
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