SiN膜によるグラフェン保護プロセスの検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12a-PA2-50

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_3371

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

SiN膜によるグラフェン保護プロセスの検討

*谷奥正巳, 小野尭生, 金井康, 小山知弘, 宮川成人, 牛場翔太, 木村雅彦, 井上恒一, 千葉大地, 松本和彦

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キーワード: 12a-PA2-50, ナノカーボン, グラフェン, デバイス応用, グラフェン, センサー

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