熱パルスイオン源を用いたチップ型質量分析計の開発-1

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12p-B408-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_406

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

熱パルスイオン源を用いたチップ型質量分析計の開発-1

*塩沢慎也, 廣瀬大亮, 高村禅

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キーワード: 12p-B408-1, 応用物理学一般, 計測技術・計測標準, 質量・力・トルク・重力加速度・圧力・流量, 質量分析, イオン源

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