応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 15a-PA1-3
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熱処理によるc軸平行配向ZnO膜のすべりモード電気機械結合係数の向上
*紀本 佳苗高柳 真司柳谷 隆彦
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