フェムト秒レーザ還元描画Cuパターンのナノ秒レーザ表面酸化処理

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14a-PB4-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_820

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

フェムト秒レーザ還元描画Cuパターンのナノ秒レーザ表面酸化処理

*吉冨恭平, 中村奨, 溝尻瑞枝

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キーワード: 14a-PB4-2, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, フェムト秒プロセス, フェムト秒レーザ, 表面酸化処理

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