プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～結晶シリコンの表面パッシベーションへの影響～

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 11p-Z03-3

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

プラズマ誘起欠陥の発生と修復～結晶シリコンの表面パッシベーションへの影響～

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