応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第81回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 11p-Z03-2
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

高アスペクトホールエッチングにおけるstriationの発生メカニズム
*大村 光広, 橋本 惇一, 足立 昂拓, 近藤 祐介, 石川 勝朗, 阿部 淳子, 酒井 伊都子, 林 久貴, 関根 誠, 堀 勝
著者情報
キーワード: 11p-Z03-2, プラズマエレクトロニクス, プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演, ドライエッチング, 高アスペクト比, ストライエーション
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© 2020 公益社団法人 応用物理学会
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