応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第81回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 10p-Z04-13
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

p-GaN MIS電気特性評価に向けたAlGaNバリア層の検討
*和田 悠平, 溝端 秀聡, 野崎 幹人, 細井 卓治, 加地 徹, 志村 考功, 渡部 平司
著者情報
キーワード: 10p-Z04-13, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, GaN, ゲート絶縁膜
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