三フッ化塩素ガスによる大口径炭化ケイ素ウェハエッチング技術

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10p-Z23-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_2133

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

三フッ化塩素ガスによる大口径炭化ケイ素ウェハエッチング技術

川崎稜平, 謝林生, 林優也, *羽深等, 高橋至直, 加藤智久

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キーワード: 10p-Z23-7, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, プロセス, 炭化珪素, 三フッ化塩素, 大口径ウエハエッチング

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