SiC基板上メンブレンレーザにおける接合界面SiO<sub>2</sub>膜の薄膜化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 9a-Z13-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_541

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

SiC基板上メンブレンレーザにおける接合界面SiO₂膜の薄膜化

*山岡優, 中尾亮, 藤井拓郎, 武田浩司, 開達郎, 西英隆, 硴塚孝明, 土澤泰, 松尾慎治

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キーワード: 9a-Z13-1, 光・フォトニクス, 半導体光デバイス, 半導体レーザー，発光ダイオード, 半導体レーザ, メンブレンレーザ, SiC

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