ベイズ最適化を用いた酸化チタンパッシベーション膜における水素プラズマ処理条件の最適化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第81回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 9p-Z13-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_552

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 81

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/08 - 2020/09/11

ベイズ最適化を用いた酸化チタンパッシベーション膜における水素プラズマ処理条件の最適化

*宮川晋輔, 後藤和泰, 沓掛健太朗, 黒川康良, 宇佐美徳隆

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キーワード: 9p-Z13-3, 光・フォトニクス, 半導体光デバイス, 太陽電池, 結晶Si太陽電池, パッシベーション, 水素プラズマ処理

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