SBT系強誘電体によるFeFETの特徴 — HfO<sub>2</sub>系FeFETとの比較

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18a-Z20-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1174

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

SBT系強誘電体によるFeFETの特徴 — HfO₂系FeFETとの比較

*酒井滋樹, 高橋光恵

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キーワード: 18a-Z20-4, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 強誘電・圧電デバイス, 強誘電体トランジスタ, SBT, 強誘電体薄膜

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