r面サファイア基板上にミストCVD法で作製したVO2薄膜の表面構造解析に関する研究

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-Z06-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1357

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

r面サファイア基板上にミストCVD法で作製したVO2薄膜の表面構造解析に関する研究

*前田青輝, 中山瑛太, 田畑博史, 久保理, 片山光浩, 木村信, 股村雄也, 池之上卓己

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キーワード: 17a-Z06-7, 薄膜・表面, 表面物理・真空, 表面, 表面

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