実験室EUV顕微鏡用の高倍率多層膜ミラー対物光学系の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-P01-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1399

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

実験室EUV顕微鏡用の高倍率多層膜ミラー対物光学系の開発

*脇俊太郎, 陳軍, 豊田光紀

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キーワード: 19a-P01-4, ビーム応用, X線技術, X線光学素子, EUV顕微鏡

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