中圧水素プラズマを用いた高アスペクト比シリコンナノコーンの形成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-Z17-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1486

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

中圧水素プラズマを用いた高アスペクト比シリコンナノコーンの形成

*野村俊光, 木元健太, 垣内弘章, 安武潔, 大参宏昌

著者情報

キーワード: 19a-Z17-2, プラズマエレクトロニクス, プラズマナノテクノロジー, プラズマナノ加工, 水素プラズマ, 高圧プラズマ, ナノ構造

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