リモート酸素ラジカルによるグラフェンのエッチング反応の分析

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-Z17-6

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

リモート酸素ラジカルによるグラフェンのエッチング反応の分析

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