応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 17p-Z26-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

転写技術によるSi/Ge異種チャネル相補型FET(hCFET)の開発
*前田 辰郎, 石井 裕之, 入沢 寿史, 洪 子杰, 宋 柏融, 李 耀仁, 張 文馨
著者情報
キーワード: 17p-Z26-8, 半導体, デバイス／配線／集積化技術, 新構造デバイス（ナノワイヤ、FinFETなど）, 転写技術, hCFET, ゲルマニウム
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