圧力勾配スパッタリング法による AlN 膜の作製と構造評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 16p-P01-16

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2570

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

圧力勾配スパッタリング法による AlN 膜の作製と構造評価

*原口謙吾, 市瀬亮, 太田裕己, 米澤健, 寺井慶和

著者情報

キーワード: 16p-P01-16, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, AlN, 装置技術, 成⻑（スパッタリング）

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