応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 16p-Z27-9
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230 nm深紫外光発生に向けた2層極性反転AlN導波路の設計と作製
*本田 啓人永田 拓実市川 修平藤原 康文正直 花奈子三宅 秀人上向井 正裕谷川 智之片山 竜二
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